T/ZJATA 0017-2023
Epitaxieausrüstung für chemische Gasphasenabscheidung (CVD) zur Herstellung von Siliziumkarbid-Halbleitermaterialien (Englische Version)

Standard-Nr.

T/ZJATA 0017-2023

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2023

Organisation

Group Standards of the People's Republic of China

Letzte Version

T/ZJATA 0017-2023

T/ZJATA 0017-2023 Veröffentlichungsverlauf

• 2023 T/ZJATA 0017-2023 Epitaxieausrüstung für chemische Gasphasenabscheidung (CVD) zur Herstellung von Siliziumkarbid-Halbleitermaterialien