DB13/T 5865-2023
Kalibrierungsmethode für Instrumente zur Prüfung der Partikelgröße der Waferoberfläche (Englische Version)

Standard-Nr.

DB13/T 5865-2023

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2023

Organisation

Hebei Provincial Standard of the People's Republic of China

Letzte Version

DB13/T 5865-2023

DB13/T 5865-2023 Veröffentlichungsverlauf

• 2023 DB13/T 5865-2023 Kalibrierungsmethode für Instrumente zur Prüfung der Partikelgröße der Waferoberfläche