UNE-EN 62047-11:2013
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme (Genehmigt von AENOR im November 2013.)

Standard-Nr.

UNE-EN 62047-11:2013

Erscheinungsdatum

2013

Organisation

ES-UNE

Letzte Version

UNE-EN 62047-11:2013

UNE-EN 62047-11:2013 Veröffentlichungsverlauf

• 2013 UNE-EN 62047-11:2013 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme (Genehmigt von AENOR im November 2013.)