DIN EN 62047-1:2016-12
Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 1: Begriffe und Definitionen (IEC 62047-1:2016); Deutsche Fassung EN 62047-1:2016 / Hinweis: DIN EN 62047-1 (2006-10) bleibt neben dieser Norm bis zum 10.02.2019 gültig.