UNE-EN 62047-10:2011
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien (Befürwortet von AENOR im Dezember 2011.)

Standard-Nr.

UNE-EN 62047-10:2011

Erscheinungsdatum

2011

Organisation

ES-UNE

Letzte Version

UNE-EN 62047-10:2011

UNE-EN 62047-10:2011 Veröffentlichungsverlauf

• 2011 UNE-EN 62047-10:2011 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien (Befürwortet von AENOR im Dezember 2011.)