KS D ISO 16413:2021
Bewertung der Dicke, Dichte und Grenzflächenbreite dünner Filme durch Röntgenreflektometrie – Geräteanforderungen, Ausrichtung und Positionierung, Datenerfassung, Datenanalyse und Berichterstattung

Standard-Nr.

KS D ISO 16413:2021

Erscheinungsdatum

2021

Organisation

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Letzte Version

KS D ISO 16413:2021

KS D ISO 16413:2021 Veröffentlichungsverlauf

• 2021 KS D ISO 16413:2021 Bewertung der Dicke, Dichte und Grenzflächenbreite dünner Filme durch Röntgenreflektometrie – Geräteanforderungen, Ausrichtung und Positionierung, Datenerfassung, Datenanalyse und Berichterstattung