EN 62047-11:2013
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme
Start
EN 62047-11:2013
Standard-Nr.
EN 62047-11:2013
Erscheinungsdatum
2013
Organisation
European Committee for Electrotechnical Standardization(CENELEC)
Letzte Version
EN 62047-11:2013
EN 62047-11:2013 Veröffentlichungsverlauf
2013
EN 62047-11:2013
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme
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