IEC 62047-37:2020
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 37: Umwelttestmethoden für piezoelektrische MEMS-Dünnfilme für Sensoranwendungen
- Standard-Nr.
- IEC 62047-37:2020
- Erscheinungsdatum
- 2020
- Organisation
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Letzte Version
- IEC 62047-37:2020
IEC 62047-37:2020 Veröffentlichungsverlauf
- 2020 IEC 62047-37:2020 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 37: Umwelttestmethoden für piezoelektrische MEMS-Dünnfilme für Sensoranwendungen
