DIN 50454-3:1994
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik – Bestimmung der Versetzungsätzgrubendichte in Einkristallen von III-V-Verbindungshalbleitern – Teil 3: Galliumphosphid

Standard-Nr.
DIN 50454-3:1994
Erscheinungsdatum
1994
Organisation
German Institute for Standardization
Zustand
Letzte Version
DIN 50454-3:1994

DIN 50454-3:1994 Veröffentlichungsverlauf

  • 1994 DIN 50454-3:1994 Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik – Bestimmung der Versetzungsätzgrubendichte in Einkristallen von III-V-Verbindungshalbleitern – Teil 3: Galliumphosphid
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik – Bestimmung der Versetzungsätzgrubendichte in Einkristallen von III-V-Verbindungshalbleitern – Teil 3: Galliumphosphid



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