ASTM F534-97
Standardtestmethode für die Biegung von Siliziumwafern

Standard-Nr.

ASTM F534-97

Erscheinungsdatum

2002

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Zustand

ersetzt werden

ersetzt durch

ASTM F534-02

Letzte Version

ASTM F534-02a

ASTM F534-97 Veröffentlichungsverlauf

• 1970 ASTM F534-02a
• 2002 ASTM F534-02 Standardtestmethode für die Biegung von Siliziumwafern
• 2002 ASTM F534-97 Standardtestmethode für die Biegung von Siliziumwafern