GSO IEC 62047-10:2014
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien

Standard-Nr.

GSO IEC 62047-10:2014

Erscheinungsdatum

2014

Organisation

GSO

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GSO IEC 62047-10:2014

GSO IEC 62047-10:2014 Veröffentlichungsverlauf

• 2014 GSO IEC 62047-10:2014 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien