T/CASAS 004.1-2018
Die Terminologie für Defekte sowohl in 4H-SiC-Substraten als auch in Epischichten (Englische Version)

Standard-Nr.: T/CASAS 004.1-2018
Sprachen: Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
Erscheinungsdatum: 2018
Organisation: Group Standards of the People's Republic of China
Letzte Version: T/CASAS 004.1-2018

T/CASAS 004.1-2018 Veröffentlichungsverlauf

2018 T/CASAS 004.1-2018 Die Terminologie für Defekte sowohl in 4H-SiC-Substraten als auch in Epischichten

Die Terminologie für Defekte sowohl in 4H-SiC-Substraten als auch in Epischichten

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