ISO 21360-5:2023
Vakuumtechnik – Standardmethoden zur Messung der Vakuumpumpenleistung – Teil 5: Nicht verdampfbare Getter-Vakuumpumpen (NEG).

Standard-Nr.

ISO 21360-5:2023

Erscheinungsdatum

2023

Organisation

International Organization for Standardization (ISO)

Letzte Version

ISO 21360-5:2023

ISO 21360-5:2023 Veröffentlichungsverlauf

• 2023 ISO 21360-5:2023 Vakuumtechnik – Standardmethoden zur Messung der Vakuumpumpenleistung – Teil 5: Nicht verdampfbare Getter-Vakuumpumpen (NEG).