ISO 23216:2021
Kohlenstoffbasierte Filme – Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme durch spektroskopische Ellipsometrie

Standard-Nr.

ISO 23216:2021

Erscheinungsdatum

2021

Organisation

International Organization for Standardization (ISO)

Letzte Version

ISO 23216:2021

ISO 23216:2021 Veröffentlichungsverlauf

• 2021 ISO 23216:2021 Kohlenstoffbasierte Filme – Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme durch spektroskopische Ellipsometrie