EN 62047-17:2015
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 17: Bulge-Testverfahren zur Messung der mechanischen Eigenschaften dünner Filme

Standard-Nr.

EN 62047-17:2015

Erscheinungsdatum

2015

Organisation

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

Letzte Version

EN 62047-17:2015

EN 62047-17:2015 Veröffentlichungsverlauf

• 2015 EN 62047-17:2015 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 17: Bulge-Testverfahren zur Messung der mechanischen Eigenschaften dünner Filme