NF EN ISO 23216:2022
Kohlenstoffbasierte Filme – Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme mittels spektroskopischer Ellipsometrie

Standard-Nr.

NF EN ISO 23216:2022

Erscheinungsdatum

2022

Organisation

Association Francaise de Normalisation

Letzte Version

NF EN ISO 23216:2022

NF EN ISO 23216:2022 Veröffentlichungsverlauf

• 2022 NF EN ISO 23216:2022 Kohlenstoffbasierte Filme – Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme mittels spektroskopischer Ellipsometrie