T/BEA 40002-2022
Kalibrierungsspezifikation für Mikrowellen-ECR-Plasmagenerator (Englische Version)

Standard-Nr.

T/BEA 40002-2022

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2022

Organisation

Group Standards of the People's Republic of China

Letzte Version

T/BEA 40002-2022

T/BEA 40002-2022 Veröffentlichungsverlauf

• 2022 T/BEA 40002-2022 Kalibrierungsspezifikation für Mikrowellen-ECR-Plasmagenerator