KS C IEC 62047-8-2015(2020)
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 8: Streifenbiegetestverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme

Standard-Nr.

KS C IEC 62047-8-2015(2020)

Erscheinungsdatum

2015

Organisation

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Letzte Version

KS C IEC 62047-8-2015(2020)

KS C IEC 62047-8-2015(2020) Veröffentlichungsverlauf

• 2020 KS C IEC 62047-8-2020 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 8: Streifenbiegetestverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme
• 2015 KS C IEC 62047-8:2015 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 8: Streifenbiegetestverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme