GB/T 40110-2021
Chemische Oberflächenanalyse – Bestimmung der Oberflächenelementkontamination auf Siliziumwafern durch Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF). (Englische Version)
- Standard-Nr.
- GB/T 40110-2021
- Sprachen
- Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
- Erscheinungsdatum
- 2021
- Organisation
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- Letzte Version
- GB/T 40110-2021
GB/T 40110-2021 Normative Verweisungen
- ISO 14644-1 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit nach Partikelkonzentration
GB/T 40110-2021 Veröffentlichungsverlauf
- 2021 GB/T 40110-2021 Chemische Oberflächenanalyse – Bestimmung der Oberflächenelementkontamination auf Siliziumwafern durch Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF).
