DIN 50450-2:1991-03
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik; Bestimmung von Verunreinigungen in Trägergasen und Dotierungsgasen; Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in N<(Index)2>, Ar, He, Ne und H<(Index)2> durch Verwendung einer galvanischen Zelle

Standard-Nr.

DIN 50450-2:1991-03

Erscheinungsdatum

1991

Organisation

German Institute for Standardization

Letzte Version

DIN 50450-2:1991-03

DIN 50450-2:1991-03 Veröffentlichungsverlauf

• 1991 DIN 50450-2:1991-03 Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik; Bestimmung von Verunreinigungen in Trägergasen und Dotierungsgasen; Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in N<(Index)2>, Ar, He, Ne und H<(Index)2> durch Verwendung einer galvanischen Zelle
• 1991 DIN 50450-2:1991 Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik; Bestimmung von Verunreinigungen in Trägergasen und Dotierungsgasen; Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in N, Ar, He, Ne und H mithilfe einer galvanischen Zelle