ISO 22278:2020
Feinkeramik (Hochleistungskeramik, hochentwickelte technische Keramik) – Prüfverfahren für die kristalline Qualität einkristalliner Dünnschichten (Wafer) unter Verwendung der XRD-Methode mit parallelem Röntgenstrahl

Standard-Nr.

ISO 22278:2020

Erscheinungsdatum

2020

Organisation

International Organization for Standardization (ISO)

Letzte Version

ISO 22278:2020

ISO 22278:2020 Veröffentlichungsverlauf

• 2020 ISO 22278:2020 Feinkeramik (Hochleistungskeramik, hochentwickelte technische Keramik) – Prüfverfahren für die kristalline Qualität einkristalliner Dünnschichten (Wafer) unter Verwendung der XRD-Methode mit parallelem Röntgenstrahl