BS IEC 63068-3:2020
Halbleiterbauelemente. Kriterien zur zerstörungsfreien Erkennung von Defekten in homoepitaktischen Siliziumkarbid-Wafern für Leistungsbauelemente – Prüfverfahren für Defekte mittels Photolumineszenz
- Standard-Nr.
- BS IEC 63068-3:2020
- Erscheinungsdatum
- 2020
- Organisation
- British Standards Institution (BSI)
- Letzte Version
- BS IEC 63068-3:2020
BS IEC 63068-3:2020 Veröffentlichungsverlauf
- 2020 BS IEC 63068-3:2020 Halbleiterbauelemente. Kriterien zur zerstörungsfreien Erkennung von Defekten in homoepitaktischen Siliziumkarbid-Wafern für Leistungsbauelemente – Prüfverfahren für Defekte mittels Photolumineszenz
