EN 62047-18:2013
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien

Standard-Nr.

EN 62047-18:2013

Erscheinungsdatum

2013

Organisation

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

Letzte Version

EN 62047-18:2013

EN 62047-18:2013 Veröffentlichungsverlauf

• 2013 EN 62047-18:2013 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien