ISO 16413:2020
Bewertung der Dicke, Dichte und Grenzflächenbreite dünner Filme durch Röntgenreflektometrie – Geräteanforderungen, Ausrichtung und Positionierung, Datenerfassung, Datenanalyse und Berichterstattung
- Standard-Nr.
- ISO 16413:2020
- Erscheinungsdatum
- 2020
- Organisation
- International Organization for Standardization (ISO)
- Letzte Version
- ISO 16413:2020
ISO 16413:2020 Veröffentlichungsverlauf
- 2020 ISO 16413:2020 Bewertung der Dicke, Dichte und Grenzflächenbreite dünner Filme durch Röntgenreflektometrie – Geräteanforderungen, Ausrichtung und Positionierung, Datenerfassung, Datenanalyse und Berichterstattung
- 2013 ISO 16413:2013 Bewertung der Dicke, Dichte und Grenzflächenbreite dünner Filme durch Röntgenreflektometrie – Geräteanforderungen, Ausrichtung und Positionierung, Datenerfassung, Datenanalyse und Berichterstattung
