DB1310/T 227-2020 Technische Spezifikation für den Quarztiegelprozess zur Züchtung von einkristallinem Silizium, einem speziellen elektronischen Material (Englische Version)
2020DB1310/T 227-2020 Technische Spezifikation für den Quarztiegelprozess zur Züchtung von einkristallinem Silizium, einem speziellen elektronischen Material