T/CNIA 0017-2019
Bestimmung des Verunreinigungsgehalts in Chlorsilanen für Polysilicium durch Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (Englische Version)

Standard-Nr.

T/CNIA 0017-2019

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2019

Organisation

Group Standards of the People's Republic of China

Letzte Version

T/CNIA 0017-2019

T/CNIA 0017-2019 Veröffentlichungsverlauf

• 2019 T/CNIA 0017-2019 Bestimmung des Verunreinigungsgehalts in Chlorsilanen für Polysilicium durch Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma