DIN EN 62047-25:2017-04
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 25: Siliziumbasierte MEMS-Fertigungstechnologie – Messverfahren für die Zug-Druck- und Scherfestigkeit des Mikrobondbereichs (IEC 62047-25:2016); Deutsche Fassung EN 62047-25:2016