GB/T 5226.33-2017 Elektrische Sicherheit von Maschinen – Elektrische Ausrüstung von Maschinen – Teil 33: Anforderungen an Ausrüstung für die Halbleiterfertigung (Englische Version)
2017GB/T 5226.33-2017 Elektrische Sicherheit von Maschinen – Elektrische Ausrüstung von Maschinen – Teil 33: Anforderungen an Ausrüstung für die Halbleiterfertigung