T/IAWBS 012-2019
Testmethode für Oberflächenqualität und Mikroröhrendichte von Siliziumkarbid-Einkristall-Polierwafern – konfokale und differenzielle Interferometrie-Optik (Englische Version)

Standard-Nr.
T/IAWBS 012-2019
Sprachen
Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
Erscheinungsdatum
2019
Organisation
Group Standards of the People's Republic of China
Letzte Version
T/IAWBS 012-2019

T/IAWBS 012-2019 Veröffentlichungsverlauf

  • 2019 T/IAWBS 012-2019 Testmethode für Oberflächenqualität und Mikroröhrendichte von Siliziumkarbid-Einkristall-Polierwafern – konfokale und differenzielle Interferometrie-Optik
Testmethode für Oberflächenqualität und Mikroröhrendichte von Siliziumkarbid-Einkristall-Polierwafern – konfokale und differenzielle Interferometrie-Optik



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