T/IAWBS 012-2019 Testmethode für Oberflächenqualität und Mikroröhrendichte von Siliziumkarbid-Einkristall-Polierwafern – konfokale und differenzielle Interferometrie-Optik (Englische Version)
2019T/IAWBS 012-2019 Testmethode für Oberflächenqualität und Mikroröhrendichte von Siliziumkarbid-Einkristall-Polierwafern – konfokale und differenzielle Interferometrie-Optik