IEC 62047-36:2019
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 36: Prüfverfahren für die Umwelt und die dielektrische Beständigkeit von piezoelektrischen MEMS-Dünnfilmen
- Standard-Nr.
- IEC 62047-36:2019
- Erscheinungsdatum
- 2019
- Organisation
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Letzte Version
- IEC 62047-36:2019
IEC 62047-36:2019 Veröffentlichungsverlauf
- 2019 IEC 62047-36:2019 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 36: Prüfverfahren für die Umwelt und die dielektrische Beständigkeit von piezoelektrischen MEMS-Dünnfilmen
