T/IAWBS 011-2019 Testverfahren zur Messung des spezifischen Widerstands leitfähiger Siliziumkarbid-Wafer mit einem berührungslosen Wirbelstrommessgerät (Englische Version)
2019T/IAWBS 011-2019 Testverfahren zur Messung des spezifischen Widerstands leitfähiger Siliziumkarbid-Wafer mit einem berührungslosen Wirbelstrommessgerät