NF EN 62047-26:2016
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 26: Beschreibung und Messmethoden für Mikrograben- und Mikronadelstrukturen

Standard-Nr.

NF EN 62047-26:2016

Erscheinungsdatum

2016

Organisation

Association Francaise de Normalisation

Letzte Version

NF EN 62047-26:2016

NF EN 62047-26:2016 Veröffentlichungsverlauf

• 2016 NF EN 62047-26:2016 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 26: Beschreibung und Messmethoden für Mikrograben- und Mikronadelstrukturen