T/CNIA 0114-2021
Hexachlordisilan, ein Nebenprodukt des modifizierten Siemens-Prozess-Polysiliciums (Englische Version)

Standard-Nr.

T/CNIA 0114-2021

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2021

Organisation

Group Standards of the People's Republic of China

Letzte Version

T/CNIA 0114-2021

T/CNIA 0114-2021 Veröffentlichungsverlauf

• 2021 T/CNIA 0114-2021 Hexachlordisilan, ein Nebenprodukt des modifizierten Siemens-Prozess-Polysiliciums