DIN ISO 18516 E:2020-01 Chemische Oberflächenanalyse – Bestimmung der lateralen Auflösung und Schärfe in strahlbasierten Methoden im Bereich von Nanometern bis Mikrometern
2020DIN ISO 18516:2020-11 Chemische Oberflächenanalyse – Bestimmung der lateralen Auflösung und Schärfe in strahlbasierten Methoden im Bereich von Nanometern bis Mikrometern (ISO 18516:2019); Text auf Englisch
1970DIN ISO 18516 E:2020-01 Chemische Oberflächenanalyse – Bestimmung der lateralen Auflösung und Schärfe in strahlbasierten Methoden im Bereich von Nanometern bis Mikrometern