DIN EN 62047-16 E:2012-11 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 16: Prüfverfahren zur Bestimmung der Eigenspannungen von MEMS-Filmen – Waferkrümmungs- und Auslegerablenkungsverfahren
DIN EN 62047-16 E:2012-11 Veröffentlichungsverlauf
2015DIN EN 62047-16:2015-12 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 16: Prüfverfahren zur Bestimmung der Eigenspannungen von MEMS-Filmen – Verfahren zur Waferkrümmung und Auslenkung des Auslegerbalkens (IEC 62047-16:2015); Deutsche Fassung EN 62047-16:2015
1970DIN EN 62047-16 E:2012-11 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 16: Prüfverfahren zur Bestimmung der Eigenspannungen von MEMS-Filmen – Waferkrümmungs- und Auslegerablenkungsverfahren