UNE-EN 62047-17:2015
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 17: Bulge-Testverfahren zur Messung der mechanischen Eigenschaften dünner Filme (Befürwortet von AENOR im August 2015.)

Standard-Nr.

UNE-EN 62047-17:2015

Erscheinungsdatum

2015

Organisation

ES-UNE

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UNE-EN 62047-17:2015

UNE-EN 62047-17:2015 Veröffentlichungsverlauf

• 2015 UNE-EN 62047-17:2015 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 17: Bulge-Testverfahren zur Messung der mechanischen Eigenschaften dünner Filme (Befürwortet von AENOR im August 2015.)