BS IEC 62047-31:2019
Halbleiterbauelemente. Mikroelektromechanische Geräte – Vierpunkt-Biegetestmethode für die Grenzflächenadhäsionsenergie von geschichteten MEMS-Materialien

Standard-Nr.

BS IEC 62047-31:2019

Erscheinungsdatum

2019

Organisation

British Standards Institution (BSI)

Letzte Version

BS IEC 62047-31:2019

BS IEC 62047-31:2019 Veröffentlichungsverlauf

• 2019 BS IEC 62047-31:2019 Halbleiterbauelemente. Mikroelektromechanische Geräte – Vierpunkt-Biegetestmethode für die Grenzflächenadhäsionsenergie von geschichteten MEMS-Materialien