UNE-EN 62047-6:2010
Halbleitergeräte – Mikroelektromechanische Geräte – Teil 6: Axiale Ermüdungstestmethoden für Dünnschichtmaterialien (Befürwortet von AENOR im Juni 2010.)

Standard-Nr.

UNE-EN 62047-6:2010

Erscheinungsdatum

2010

Organisation

ES-UNE

Letzte Version

UNE-EN 62047-6:2010

UNE-EN 62047-6:2010 Veröffentlichungsverlauf

• 2010 UNE-EN 62047-6:2010 Halbleitergeräte – Mikroelektromechanische Geräte – Teil 6: Axiale Ermüdungstestmethoden für Dünnschichtmaterialien (Befürwortet von AENOR im Juni 2010.)