BS PD ISO/TR 19319:2013
Chemische Oberflächenanalyse. Grundlegende Ansätze zur Bestimmung der lateralen Auflösung und Schärfe in strahlbasierten Methoden

Standard-Nr.

BS PD ISO/TR 19319:2013

Erscheinungsdatum

2013

Organisation

SCC

Letzte Version

BS PD ISO/TR 19319:2013

BS PD ISO/TR 19319:2013 Veröffentlichungsverlauf

• 2013 BS PD ISO/TR 19319:2013 Chemische Oberflächenanalyse. Grundlegende Ansätze zur Bestimmung der lateralen Auflösung und Schärfe in strahlbasierten Methoden