NF EN 62047-3:2006
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 3: Standardisierte Dünnschichtprüfkörper für Zugversuche

Standard-Nr.

NF EN 62047-3:2006

Erscheinungsdatum

2006

Organisation

Association Francaise de Normalisation

Letzte Version

NF EN 62047-3:2006

NF EN 62047-3:2006 Veröffentlichungsverlauf

• 2006 NF EN 62047-3:2006 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 3: Standardisierte Dünnschichtprüfkörper für Zugversuche