KS D ISO 16413-2021
Bewertung der Dicke, Dichte und Grenzflächenbreite dünner Filme durch Röntgenreflektometrie – Geräteanforderungen, Ausrichtung und Positionierung, Datenerfassung, Datenanalyse und Berichterstattung

Standard-Nr.

KS D ISO 16413-2021

Erscheinungsdatum

2021

Organisation

KR-KS

Letzte Version

KS D ISO 16413-2021

KS D ISO 16413-2021 Veröffentlichungsverlauf

• 2021 KS D ISO 16413-2021 Bewertung der Dicke, Dichte und Grenzflächenbreite dünner Filme durch Röntgenreflektometrie – Geräteanforderungen, Ausrichtung und Positionierung, Datenerfassung, Datenanalyse und Berichterstattung