T/CASAS 009-2019 Bestimmung der Konzentration und Verteilung von Spurenverunreinigungen in halbisolierenden SiC-Materialien durch Sekundärionen-Massenspektrometrie (Englische Version)
2019T/CASAS 009-2019 Bestimmung der Konzentration und Verteilung von Spurenverunreinigungen in halbisolierenden SiC-Materialien durch Sekundärionen-Massenspektrometrie