NF C96-050-6*NF EN 62047-6:2010
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 6: Axiale Ermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien

Standard-Nr.

NF C96-050-6*NF EN 62047-6:2010

Erscheinungsdatum

2010

Organisation

Association Francaise de Normalisation

Letzte Version

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NF C96-050-6*NF EN 62047-6:2010 Veröffentlichungsverlauf

• 2010 NF C96-050-6*NF EN 62047-6:2010 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 6: Axiale Ermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien