UNE-EN 62047-8:2011
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 8: Bandbiegetestverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme (Befürwortung durch AENOR im September 2011.)

Standard-Nr.
UNE-EN 62047-8:2011
Erscheinungsdatum
2011
Organisation
ES-UNE
Letzte Version
UNE-EN 62047-8:2011

UNE-EN 62047-8:2011 Veröffentlichungsverlauf

  • 2011 UNE-EN 62047-8:2011 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 8: Bandbiegetestverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme (Befürwortung durch AENOR im September 2011.)
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 8: Bandbiegetestverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme (Befürwortung durch AENOR im September 2011.)



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