KS I ISO 14644-9-2019 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 9: Klassifizierung der Oberflächenreinheit anhand der Partikelkonzentration
2019KS I ISO 14644-9:2019 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 9: Klassifizierung der Oberflächenreinheit anhand der Partikelkonzentration
2014KS I ISO 14644-9:2014 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 9: Klassifizierung der Oberflächenreinheit nach Partikelkonzentration