T/QGCML 2307-2023
Technische Anforderungen für die Herstellung von Tetramethoxymethylglykoluril mit niedrigem Metallgehalt für Fotoresists (Englische Version)

Standard-Nr.

T/QGCML 2307-2023

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2023

Organisation

Group Standards of the People's Republic of China

Letzte Version

T/QGCML 2307-2023

T/QGCML 2307-2023 Veröffentlichungsverlauf

• 2023 T/QGCML 2307-2023 Technische Anforderungen für die Herstellung von Tetramethoxymethylglykoluril mit niedrigem Metallgehalt für Fotoresists