EN ISO 23216:2022
Kohlenstoffbasierte Filme – Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme mittels spektroskopischer Ellipsometrie (ISO 23216:2021)

Standard-Nr.

EN ISO 23216:2022

Erscheinungsdatum

2022

Organisation

European Committee for Standardization (CEN)

Zustand

zurückziehen 2023-05

Letzte Version

EN ISO 23216:2022

EN ISO 23216:2022 Veröffentlichungsverlauf

• 2022 EN ISO 23216:2022 Kohlenstoffbasierte Filme – Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme mittels spektroskopischer Ellipsometrie (ISO 23216:2021)