NF EN 62047-11:2014
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten in sich geschlossener Materialien für mikroelektromechanische Systeme

Standard-Nr.

NF EN 62047-11:2014

Erscheinungsdatum

2014

Organisation

Association Francaise de Normalisation

Letzte Version

NF EN 62047-11:2014

NF EN 62047-11:2014 Veröffentlichungsverlauf

• 2014 NF EN 62047-11:2014 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten in sich geschlossener Materialien für mikroelektromechanische Systeme