DIN EN 62047-5:2012-03 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 5: HF-MEMS-Schalter (IEC 62047-5:2011); Deutsche Fassung EN 62047-5:2011
2012DIN EN 62047-5:2012-03 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 5: HF-MEMS-Schalter (IEC 62047-5:2011); Deutsche Fassung EN 62047-5:2011
2012DIN EN 62047-5:2012 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 5: HF-MEMS-Schalter (IEC 62047-5:2011); Deutsche Fassung EN 62047-5:2011