ISO 21859:2019
Feinkeramik (Hochleistungskeramik, technische Hochleistungskeramik) – Prüfverfahren für die Plasmabeständigkeit keramischer Komponenten in Halbleiterfertigungsanlagen
- Standard-Nr.
- ISO 21859:2019
- Erscheinungsdatum
- 2019
- Organisation
- International Organization for Standardization (ISO)
- Letzte Version
- ISO 21859:2019
ISO 21859:2019 Normative Verweisungen
- ISO 18452 Feinkeramik (Hochleistungskeramik, technische Hochleistungskeramik) – Bestimmung der Dicke von Keramikfilmen mittels Kontaktsonden-Profilometer
- ISO 3274 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächenbeschaffenheit: Profilmethode – Nominale Eigenschaften von Kontaktinstrumenten (Stiftinstrumenten); Technische Berichtigung 1
- ISO 4287 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächentextur: Profilmethode – Begriffe, Definitionen und Oberflächentexturparameter; Technische Berichtigung 2
ISO 21859:2019 Veröffentlichungsverlauf
- 2019 ISO 21859:2019 Feinkeramik (Hochleistungskeramik, technische Hochleistungskeramik) – Prüfverfahren für die Plasmabeständigkeit keramischer Komponenten in Halbleiterfertigungsanlagen
